环境与安装影响
激光干涉仪在测量过程中对环境敏感：
- 温度变化：空气折射率随温度变化，长行程测量偏差明显。
- 湿度与气压：湿度和气压变化也会对测量结果产生微小影响。
- 振动与支撑不稳：安装不稳或光路偏移会导致重复性误差。
工程师常见误区：
1. 仅关注仪器参数，忽略现场环境影响。
2. 单次测量结果直接作为结论，没有进行多点验证。
3. 忽略误差补偿和数据分析，导致测量结果偏离实际。
案例分析
某半导体设备厂在装配导轨时，未控制环境温度，测量结果偏差超过 5 微米。通过增加温控措施和多点测量后，偏差降至 1 微米以内，保证了设备的装配精度。
022-58519116
