工程现场高效使用激光干涉仪指南

测量流程设计

- 多点测量：根据设备结构，选择关键测量点，形成完整测量网格。  

- 重复验证：同一位置测量多次，取平均值，提高可靠性。  

- 现场规划：避开强光、振动源和热源，减少环境干扰。

环境补偿与支撑

- 使用温度、湿度、气压补偿模块校正数据。  

- 采用稳固支架和精密光学底座，确保光路稳定。  

- 长行程测量可采用多点参照或移动参考镜提高精度。

数据分析与改进

- 建立标准化数据记录表，便于历史对比。  

- 对异常数据进行统计分析，判断是否为系统误差或随机误差。  

- 结合机床或设备的工况，进行误差补偿，优化测量方案。

工程价值

通过合理的流程设计和环境控制，激光干涉仪在机床装调、半导体设备、光学制造等高精密行业中，能显著提高加工精度，减少返工率和生产成本。