激光干涉仪原理与高精度测量优势解析

激光干涉仪原理概述

激光干涉仪是一种高精度测量工具，通过激光光波的相干性实现纳米级测量。其核心原理是将一束参考光与测量光进行干涉，通过干涉条纹变化计算位移。仪器以光波长为测量基准，因此测量结果稳定且可溯源。

与传统机械测量方法相比，激光干涉仪具有显著优势：

- 高精度：分辨率可达纳米级，可用于精密机床、半导体设备和光学组件测量。

- 非接触测量：无需直接接触被测对象，减少机械误差和摩擦影响。

- 广泛适用性：可测量直线度、平面度、角度偏差、振动等多种几何参数。

工程案例

例如，某精密机床厂在机床装配调试过程中，通过激光干涉仪测量导轨平直度和主轴轴向跳动，发现多处微小偏差并及时调整。最终机床加工精度提升至 ±2 微米，显著减少返工率。