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温度、湿度和气压变化会直接影响空气折射率,从而影响测量结果,尤其在长行程测量中影响明显。...
激光干涉仪是一种利用激光相干性和干涉原理测量位移与几何误差的高精密仪器。通过比较参考光路和测量光路的相位变化,它可以实现纳米级测量分辨率。...
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