激光干涉仪原理解析：为什么能实现纳米级测量？

作者：发布时间：2026-01-01 10:49:27点击：18

信息摘要：

激光干涉仪是一种利用激光相干性和干涉原理测量位移与几何误差的高精密仪器。通过比较参考光路和测量光路的相位变化，它可以实现纳米级测量分辨率。

原理介绍

激光干涉仪是一种利用激光相干性和干涉原理测量位移与几何误差的高精密仪器。通过比较参考光路和测量光路的相位变化，它可以实现纳米级测量分辨率。

核心优势

- 高分辨率：测量分辨率可达纳米级，适合高精密机床检测和装调。

- 稳定溯源：以光波长为基准，测量结果可追溯。

- 适用广泛：适合直线度、位移、平面度等多种高精度测量。

应用示例

- 数控机床检测

- 半导体设备装调

- 精密模具制造与校准

本文标签：