半导体设备中的激光干涉仪应用案例

作者：发布时间：2026-01-09 11:02:46点击：16

信息摘要：

半导体设备装配要求微米级精度，任何微小偏差都可能导致良率下降。激光干涉仪可快速检测设备各关键部件的位移和几何误差。

应用背景

半导体设备装配要求微米级精度，任何微小偏差都可能导致良率下降。激光干涉仪可快速检测设备各关键部件的位移和几何误差。

工程实践

- 使用干涉仪测量晶圆搬运系统的直线度

- 多点测量，结合温湿度补偿

- 修正偏差，提高设备装配精度

价值体现

设备精度提升后，生产良品率提高 3–5%，减少设备调试时间，并降低返工成本。

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